CVD氣相沉積爐為立式真空感應加熱爐，它由爐體、爐蓋、真空系統、電氣系統、加氣系統、和水冷系統等部分組成。爐身采用水冷夾層結構。爐內裝有感應線圈，發熱體也是石墨材料制成石墨坩堝。發熱體外圍是由碳氈組成的保溫裝置和由剛玉組成的隔熱絕緣裝置。測溫元件采用熱電偶，半自動/手動控制爐溫，采用智能型溫度表控溫。
CVD氣相沉積爐技術特征：
CVD氣相沉積爐工作區尺寸可達2.5m×2m×4.5m，能滿足大型工件化學氣相沉積處理需求；
CVD氣相沉積爐采用多溫區獨立控溫，溫度均勻性好；
CVD氣相沉積爐采用特殊結構沉積室，密封效果好，抗污染能力強；
CVD氣相沉積爐采用多通道沉積氣路，流場均勻，無沉積死角，沉積效果好；
CVD氣相沉積爐能有效處理生產過程中產生的各種規格雜質。
